- Umfassende, kostengünstige Gasanalyse*
Der INFICON Transpector CPM gibt frühe In-Situ-Warnungen aus und ermöglicht Kostensenkungen durch folgende Funktionen:
- Messen von Gasphasenreaktionen
- Sicherstellen der Vakuumintegrität
- Identifizieren von Verunreinigungen im Spurenbereich
- Messen der Prozess- und Hintergrundzusammensetzung
- Sicherstellen der Gasreinheit
Der Kompaktprozessmonitor INFICON CPM ist ein kompakter und kostengünstiger Gasanalysator mit sämtlichen Funktionen für die lokale Überwachung komplexer Prozesse. Dieses Trockenpumpsystem verwendet die bewährte Technologie des Transpector 2 Gas Analysis Systems von INFICON, um eine optimale Leistung zu erzielen.
- Transpector CPM-Funktionen auf einen Blick*
- Quadrupolbasiertes Gasanalysesystem zur Überwachung komplexer Prozesse.
- Ermöglicht eine Rundumüberwachung für maximale Ausbeute und maximalen Durchsatz. Dies sorgt für Kosteneinsparungen.
- So kompakt und preisgünstig, dass es in jeder Hochdruck-Vakuumkammer installiert werden kann.
- HexBlock-Probenahmesystem sorgt für maximale Leistung.
- Eingebaute CDG für Prozessdrucküberwachung und Vakuumverriegelung.
- Optionale Kalibrierungsreferenz für Abstimmungs- und Gasreferenz verfügbar.
- long-life closed ion source permits contaminant detection at sub-ppm levels while resisting most corrosive and reactive gases.
- Leicht und bequem zu tragen.
ASSOCIATED TECHNICAL INFORMATION
Brochures and Datasheets:
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Application Note - Transpector CPM - Integrated Process Monitor for 300mm High Pressure Degas
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Brochure - Transpector CPM Compact Process Monitor
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Technical Note - Choosing the Appropriate RGA
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Technical Note - Etch Process Monitoring with the Transpector Residual Gas Analyzer
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Technical Note - Gas Purge and CPM Sensor Lifetime
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Technical Note - Heating Jackets Can Improve RGA Performance
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Technical Note - The Optimization of Electron Energy for RGAs
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Technical Note - The Use of Quadrupole Mass Spectrometry to Detect Sub-PPM Level Contaminants in Gas-Phase Samples and Processes
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Technical Note - Transpector CPM Calibration Reference
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