Der INFICON Crystal 12 Sensor ist von entscheidender Bedeutung für lange Prozesse, für die eine kontinuierliche Ratensteuerung notwendig ist. Ob für OLED-, MBE-, Solar- oder andere Prozesse mit einem längeren Zeitraum zwischen Kammerbelüftungen, der Crystal 12 Sensor bietet die Sicherheit von 12 Quarzmonitorkristallen in einem einzigen Sensorkopf. Bei Verwendung mit Cygnus, XTC/3M, XTC/3S, SQC310 oder SQC310C dreht der Crystal 12 automatisch immer dann einen neuen Kristall in Position, wenn der aktuelle Kristall ausfällt oder instabil wird. Kristalle werden automatisch und ohne Unterbrechung des Prozesses ausgetauscht. So ist eine dauerhafte Überwachung der Abscheidungsrate möglich. Zur zusätzlichen Reduzierung der Ausfallzeit können Kristalle in ein zweites optionales Karussell vorgeladen werden, das anschließend schnell und einfach mit dem Karussell mit den verbrauchten Kristallen ausgetauscht werden kann, sodass die Zeitspanne verkürzt wird, in der das System geöffnet ist.
Die Kristallindizierung wird über einen pneumatischen Mechanismus bewerkstelligt. Dieser Motor mit pneumatischem Antrieb bietet eine bessere thermische Stabilität als die Einheiten von Konkurrenten, die teure, in einem Vakuum angetriebene und Wärme erzeugende Elektromotoren verwenden. 1/8"-Wasserkühlschläuche halten den Sensorkopf thermisch stabil und sorgen für eine flexible Sensorpositionierung.
Features auf einen Blick
- Enthält 12 Kristalle mit zuverlässigem, automatischem Wechsel für maximale Prozessbetriebszeit
- Leicht auszubauendes Karussell für den schnellen Austausch aller 12 Kristalle
- Stabile Kristalltemperatur aufgrund pneumatisch betätigter Kristallschaltung (Einheiten anderer Hersteller verwenden Wärme erzeugende Motoren)
- Leicht herausnehmbarer Abscheidungsfrontschutz schützt die Kristalle und das Karussell vor Materialansammlungen und minimiert so die Notwendigkeit, aus Wartungsgründen den gesamten Sensor herauszunehmen
- Optionaler Montagekit kann auf Kundenwunsch so angepasst werden, dass metrische Hardware angebracht werden kann
- Optionaler Kristallverschluss erhältlich
ASSOCIATED TECHNICAL INFORMATION
Brochures and Datasheets:
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Datasheet - Crystal 12 Sensor
English
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