Exzellente Kristallleistung in anspruchsvollen Anwendungen
RSH-600 Rotary Sensor Heads eignen sich für anspruchsvolle Prozesse mit sehr dicken Schichten und verschiedenen Materialien. Im RSH-600 befinden sich sechs Kristalle in einem thermisch abgeschirmten, wassergekühlten Gehäuse. Dies gewährleistet auch bei Umgebungstemperaturen von bis zu 300 °C eine exzellente Kristallleistung. Die Kristalle befinden sich in einem leicht entfernbaren Kristallhalter aus Teflon und Edelstahl.
Features auf einen Blick
- Sechs Kristalle
- Positionsrückmeldung
- Anpassbare Länge
- Robuste Bauweise
ASSOCIATED TECHNICAL INFORMATION
Brochures and Datasheets:
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Brochure - RSH-600 Rotary Sensor Head
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Technical Information:
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Technical Information - RSH Head Covers Cooling Efficiency
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Technical Note - Sensor Alignment
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Technical Note - Use of Maxtek Sensor Heads in a Sputtering Environment
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