Thin Film Deposition Controllers/QCM Measurement Instruments
Mit den marktführenden Dünnschichtabscheidungs-Controllern, -Monitoren und QCM-Messinstrumenten von INFICON kann in sehr komplexen Prozessen mit unübertroffener Messgeschwindigkeit und -genauigkeit die Abscheidungsrate und -dicke gesteuert werden. Dank der erweiterten Software und der umfangreichen logischen E/A-Funktionen können unsere Dünnschichtabscheidungs-Controller/QCM-Messinstrumente vollständig in das Vakuumsystem integriert werden und gewährleisten so eine automatische Prozesssteuerung. Zur Steuerung weniger komplexer Prozesse verwendet INFICON sparsame Präzisionscontroller, Monitore und QCM-Messinstrumente, die Beschichtungen 100-fach genauer als herkömmliche Verfahren messen können.
Die meisten kristallbasierten Instrumente von INFICON verwenden ModeLock, unser patentiertes Messsystem. Dies macht sie zu den momentan fortschrittlichsten Messinstrumenten.
Weitere Informationen zu unseren Dünnschichtabscheidungs-Controllern/QCM-Messinstrumenten.
