WIEDERHOLBARE PRÄZISION
Die IC6 bietet mit zahlreichen Funktionen größtmögliche Messgenauigkeit
Der IC6 Thin Film Deposition Controller bietet eine außergewöhnlich gute vergleichbare Leistung, da er die bewährte Qualität der Dünnschichtabscheidungs-Controller von INFICON mit einzigartigen Funktionen vereint. Diese Eigenschaften gewährleisten einen optimalen Abscheidungsprozess. Mithilfe von ModeLock, unserem Frequenzmesssystem, gewährleistet der IC6 stabile, hoch auflösende Raten- und Dickenmessungen mit einer in der Branche unangefochtenen Ratenauflösung von 0,00433 A/s pro 1/10-Sekunde. Kein anderer Quarzkristallcontroller bietet die Leistung, Qualität und Funktionalität des IC6. So lassen sich Spitzenleistungen immer wiederholen.
Features auf einen Blick
- Die ModeLock-Technologie von INFICON bietet die stabilsten und höchsten Auflösungsraten und Dickenmessungen, selbst bei sehr niedrigen Raten.
- Auto Z verbessert die Dickengenauigkeit, indem das Z-Verhältnis automatisch bestimmt wird, sobald Material abgeschieden wird.
- Simultane Co-Abscheidung von bis zu sechs Quellen
- Auf dem Color TFT LCD-Display können Sie Ihren Prozess schnell und einfach nachverfolgen.
- +/- 0,0035 Hz über 100 ms-Probe
- USB-Datenspeicherung für Screenshots, Rezepturspeicherung und Datenprotokollierung
- Leistungsstarke, flexible Eingabe/Ausgabe zur Integration in einfache oder komplexe Systeme mithilfe von erweiterbaren Eingängen (28) und Ausgängen (24 Relais, 14 TTL-Ausgänge) sowie Logikfunktionen (100 Logikanweisungen)
- 6 DAC-Standardausgänge, optional 6 zusätzliche Ausgänge für Quellensteuerung, Raten- oder Dickenüberwachung
- Es können bis zu 50 Prozesse mit je 200 Schichten erfasst werden, und die Prozesse können für maximal 10.000 Schichten miteinander verknüpft werden.
- Mittelwertbildung für bis zu 8 Sensoren
- Optionale 4-Meter-XIU bietet in großen Systemen die Möglichkeit zur Verwendung langer Kabel unter Vakuum
- Optionale Ethernet-Kommunikation
- RoHS-konform
ASSOCIATED TECHNICAL INFORMATION
Brochures and Datasheets:
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Brochure - Crystal 12 Sensor for Quartz Crystal Deposition Controllers
English
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Brochure - IC6 Thin Film Deposition Controller for Optical Applications
English
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Catalogs:
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Catalog - Thin Film Deposition Controllers, Monitors and Accessories Catalog
English
| Chinese
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Operations and Maintenance Manuals:
Technical Information:
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Application Note - Auto-Z: A Path to Precise Control of Layer Thickness
English
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Mass Determination with Piezoelectric Quartz Crystal Resonators
English
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Reducing Process Variation Through Multiple Point Crystal Sensor Monitoring
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Technical Note - The Technology of the Intelligent Oscillator for Quartz Crystal Measurement and Advantages for Thin Film Processes
English
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 | | Learn more about the IC6 for Optical Applications |
|  | | Crystal 12 - Replaces crystals automatically without interrupting your process. |
|  | | Table of Density and Z-Ratio Values |
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