Der INFICON SKY AllCeramic CDG160A-C ist der einzige vollständig metallfreie bei 160 ^o^C temperaturgesteuerte Kapazitätsmembranmanometer für anspruchsvolle Anwendungen wie Oxidation, Diffusion und chemische Niederdruckgasphasenabscheidung. Alle Oberflächen, die dem Vakuum ausgesetzt sind, wie Leitungen, Plasmaschild und Kontaminationsschutzschild, bestehen aus korrosionsbeständiger ultrareiner Aluminiumoxid-Keramik. Somit ist eine mögliche Metallverunreinigung durch das Messgerät ausgeschlossen.
Der INFICON SKY AllCeramic CDG160A-C integriert bewährte Sensortechnologie der INFICON CDG160A-Baureihe von Messgeräten für zuverlässige und wiederholbare Leistung bei chemischer Niederdruckgasphasenabscheidung und anderen schwierigen Anwendungen in der Halbleiterherstellung.
Vorteile
- Der metallfreie ultrareine Keramikentwurf verhindert Metallverunreinigungen
- Die auf 160 ^o^C geregelteTemperatur verhindert die Kondensation von Prozessprodukten und -nebenprodukten
- Der kompakte Entwurf spart wertvollen Platz und vereinfacht die Geräteintegration
- Kompatibilität mit hoher Umgebungstemperatur
- Eine verbesserte Partikelschutzkammer mit einem zusätzlichen Schutzschild (Suprashield) reduziert die Wahrscheinlichkeit einer Verunreinigung des Messgeräts
- Der einzigartige Keramiksensorentwurf sorgt für Wiederholbarkeit und präzise Messungen mit exzellenter langfristiger Stabilität
- Optionale Sollwert- und Statusanzeige bietet zusätzliche Kontrolle und Sicherheitsfunktionen
Anwendungen
- Prozesse mit Oxidation, Diffusion und chemischer Niederdruckgasphasenabscheidung
- Andere metallfreie Vakuummessanforderungen
ZUGEHÖRIGE TECHNISCHE INFORMATIONEN
Erhältlich auf Anfrage
ASSOCIATED TECHNICAL INFORMATION
Technical Information:
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On the Stability of Capacitance-Diaphragm Gauges with Ceramic Membranes - JVST Jan/Feb 2011
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