Die INFICON Pirani Standard Gauges PSG500, PSG502-S, PSG510-S und PSG512-S sind mit der fortschrittlichsten Pirani-Digitaltechnologie ausgestattet, die auf dem Markt erhältlich ist. Die robuste Sensorzelle aus Edelstahl und das kompakte Design sind ideal für den Einsatz in Halbleitersystemen und Standardanwendungen geeignet, z. B. für Vorvakuumleitungen.
Vorteile
- Einfache Anpassung von ATM und HV über Drucktasten
- Platzsparendes, robustes Design
- Aluminiumgehäuse
- Montage in beliebiger Position
- Messzelle aus Edelstahl mit metallversiegelter Durchführung
- Logarithmischer Signalausgang für einfache Integration
- 10 bar absoluter Überdruck mit Gewindeanschlüssen
- 250 °C ausheizbare Version
- Optionale Ausführung mit Nickelfilament für korrosive Anwendungen
- Keramische Durchführung für extrem korrosive Anwendungen (PSG510 und PSG512)
- Optionale Sollwerte
- RoHS-konform
Anwendungen
- Steuern von Hochvakuum-Ionisierungsmessröhren
- Vorvakuum-Drucküberwachung
- Sicherheitsstromkreise in Vakuumsystemen
- Allgemeine Vakuummessung und -steuerung im Fein- und Grobvakuumbereich
ASSOCIATED TECHNICAL INFORMATION
Brochures and Datasheets:
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Datasheet - PSG500, PSG500-S, PSG502-S, PSG510-S, PSG512-S
English
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Operations and Maintenance Manuals:
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Operating Manual - PSG500, PSG500-S, PSG502-S, PSG510-S, PSG512-S
English
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