Die INFICON Bayard-Alpert Pirani Combination Gauge, BPG402-S, bietet zwei Messgeräte in einer einzigen kompakten Einheit und misst im Bereich von 5 X 10 -10 mbar bis Atmosphärendruck (3,8 X 10 -10 Torr bis Atmosphärendruck). Durch Kombination verschiedener Technologien wird Installation, Einrichtung und Integration vereinfacht. Das BPG402-S mit dualen Yttriumoxid-beschichteten Iridiumfilamenten ermöglicht erschwingliche, wiederholbare Messungen im Prozess- bis Basisdruckbereich in einem kostengünstigen Paket. Abtastelemente mit Onboard-Kalibrierungsdaten garantieren hohe Reproduzierbarkeit beim Austausch von Sensoren.
Vorteile
- Extrem großer Messbereich von 5 X 10 -10 mbar bis Atmosphärendruck (3,8 X 10 -10 Torr bis Atmosphärendruck)
- Exzellente Wiederholbarkeit im Prozessdruckbereich von 10 -8 ...10 -2 mbar von 5 %
- Pirani-Verriegelung schützt das Filament vor vorzeitigem Ausbrennen
- Duales langlebiges Yttriumoxid-beschichtetes Iridiumfilament
- Optionale grafische Anzeige und Feldbus-Schnittstellen erhältlich
- Automatische Hochvakuum-Pirani-Justierung reduziert die erforderlichen Eingriffe durch den Betreiber
- Leicht auszuwechselndes Abtastelement mit Onboard-Kalibrierungsdaten garantiert hohe Reproduzierbarkeit
Anwendungen
- Druckmessung in Halbleiterprozess- und Transferkammern
- Industrielle Beschichtung
- Allgemeine Vakuummessung und -steuerung im niedrigen bis ultrahohen Vakuumbereich
ASSOCIATED TECHNICAL INFORMATION
Brochures and Datasheets:
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Datasheet - BPG402-S, BPG402-SD, BPG402-SP
English
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Operations and Maintenance Manuals:
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Communication Protocol - BPG402-SD
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EDS for BPG402 with Float EDS
English
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EDS for BPG402 with Integer EDS
English
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Instruction Sheet - BPG402-S, BPG402-SD, BPG402-SP
English
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Operating Manual - BPG402-S, BPG402-SD, BPG402-SP
English
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