Die INFICON Penning Gauge PEG100 ermöglicht zuverlässige Hochvakuummessungen. Der robuste Penning-Kaltkathodensensor enthält kein Filament, das ausbrennen könnte. Aufgrund der Titankathodenplatten und der reduzierten Hochspannung nach der Plasmazündung kann das Messgerät auch in Zerstäubungsanwendungen eingesetzt werden. Die Feldbusoptionen ermöglichen zusammen mit dem logarithmischen analogen Ausgangssignal eine einfache Integration in Vakuumsysteme mithilfe von Profibus DP- oder DeviceNet-Protokollen.
Vorteile
- Großer Messbereich von 5 x 10^-9 bis 1 x 10^-2 mbar (7,5 x 10^-10 bis 7,5 x 10^-2 Torr)
- Ganzmetallsensor mit Kaltkathode (Penning) und Keramikdurchführung
- Neue Elektrodengeometrie sorgt für exzellente Zündeigenschaften
- Verminderte Hochspannung nach der Plasmazündung sowie Titankathodenplatten verringern das Verunreinigungsrisiko, selbst während Kathodenzerstäubungsvorgängen mit Argon
- Der Anodenring und die Titankathode können leicht gereinigt und ausgewechselt werden
- Minimale Magnetfeldintensität in der Nähe des Messgeräts
- LED-Anzeige für Stromversorgung und Plasmazündung
- Logarithmisches analoges Ausgangssignal
- Feldbusschnittstelle (Profibus DB, DeviceNet) für die einfache Integration in Vakuumsysteme mit Netzwerkkommunikation
Anwendungen
- Hochvakuum-Drucküberwachung
- Verdampfungs- und Kathodenzerstäubungssysteme
- Allgemeine Vakuummessung und -steuerung im Fein- und Hochvakuumbereich
ASSOCIATED TECHNICAL INFORMATION
Brochures and Datasheets:
Operations and Maintenance Manuals:
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EDS for PEG100 with Float EDS
English
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Operating Manual - PEG100-D
English
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