総合的なガス分析が手ごろに
INFICONのTranspector CPM はin Situの早めの警告を提供し、以下によってコストを削減します。
- ガスフェーズ反応計測
- 真空の完全性を確認
- トレースレベルの汚染を特定
- プロセスと背景蒸着を計測
- ガス純度を定性
総合的なガス分析がお手頃に。このRGAはフル機能を備えた、コンパクトでお手頃なガス分析器で、複雑なプロセスのin situ監視に理想的です。このドライポンプシステムは実証済みのINFICONのTranspector 2ガス分析システムを使い、作業において新たなレベルを獲得するお手伝いをします。
Transpector CPM 特長一覧
- 四重極をベースとしたガス分析システムで複雑なプロセスを監視
- 7日間24時間監視で歩留まりと処理能力を最大化し、コストを最少化
- コンパクトで、すべての高圧真空チャンバーにインストールできる手頃な価格
- HexBlockサンプリングシステムが作業を最大化
- 組込み式CDGでプロセス圧監視と真空インターロック
- オプションで調整用校正レファレンスとガスレファレンスあり
- 長寿命のクローズドイオンソースが、腐食性と反応性ガスに耐久性を持ちながら、サブPPMレベルまでの汚染を検出
- 軽量で持ち運びが簡単
ASSOCIATED TECHNICAL INFORMATION
Brochures and Datasheets:
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Application Note - Transpector CPM - Integrated Process Monitor for 300mm High Pressure Degas
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Brochure - Transpector CPM Compact Process Monitor
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Technical Note - Choosing the Appropriate RGA
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Technical Note - Etch Process Monitoring with the Transpector Residual Gas Analyzer
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Technical Note - Gas Purge and CPM Sensor Lifetime
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Technical Note - Heating Jackets Can Improve RGA Performance
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Technical Note - The Optimization of Electron Energy for RGAs
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Technical Note - The Use of Quadrupole Mass Spectrometry to Detect Sub-PPM Level Contaminants in Gas-Phase Samples and Processes
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Technical Note - Transpector CPM Calibration Reference
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