優れた感度で汚染コントロール
Transpector® ガス分析システムは、半導体製造での真空プロセスの監視、プロセス診断、およびリーク検出において正確かつ信頼性の高いデータを提供する残留ガス分析器(RGA)です。Transpector 2ではより向上した水素感度がサブppmレベルでの汚染を把握し、低レベル信号で広範囲のダイナミックレンジを4倍の速さでスキャンできるため、低い検出分圧によって正確なデータを提供します。
特長一覧
- ファラデーカップまたはファラデーカップ/ 電子増倍菅の組み合わせによる100-、200-、 300-amu のシステム
- 向上した水素感知
- 優れた ピーク振幅とポジションの安定性
- オリジナルのTranspectorと比べるとＳＮ比が10倍改善
- 低レベル信号でより速いスキャン
- 9 decadeの電気ダイナミックレンジ
- シングルとマルチチャンバーシステムのソフトウェアオプション
- 1 X 10 -4^Torrから 5 X 10 ^-15 Torrまで分圧計測
ASSOCIATED TECHNICAL INFORMATION
Brochures and Datasheets:
Reference:
Technical Information:
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Calculating Partial Pressures
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Heating Jackets Can Improve RGA Performance
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Interpretation Guide - General RGA Spectrum
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New Digital Input/Output Board For Transpector Gas Analysis System Using TWare 32
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Partial Pressures vs. Total Pressure for an Open Ion Source RGA
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Residual Gas Analyzers for Contamination Checking
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Residual Gas Analyzers for Leak Detection
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Technical Note - Calculating Sensitivity for RGA Partial Pressures
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Technical Note - Choosing the Appropriate RGA
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The Advantages of an RGA with Analog Outputs
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The Practical Use of Residual Gas Analysis in a Semiconductor Thermal Processing Module
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Transpector 2 Improvements Lead to Better Process Monitoring
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