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UL1000 Fabヘリウムリークディテクタ
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10-12 atm cc/sまでのリークを検出する、新たな次元の安定性と責任
INFICON UL1000Fab可動型ヘリウムリークディテクターは半導体製造作業への必要性を満たすために特別にデザインされています。
使いやすさを考え、UL1000Fabは工場内のシステム環境におけるリークディテクターの効率と可動性を優先し、全計測範囲にわたって非常に速いリーク率反応を実現します。速いヘリウムポンプスピードと高い吸気口の圧を組み合わせて最適化された真空設計においても、UL1000 Fabは< 5x10-12 atm cc/sというかつてないほどの高いリーク率を誇ります。UL1000Fabは専売ソフトウェアI-CAL (Intelligent Calculation Algorithm of Leak Rates)によって、すべてのリーク率範囲にすばやく反応するため、低いリーク率範囲での遅い反応はもう過去のものです。
UL1000 Fabヘリウムリークディテクターは、TC1000テストチャンバーアクセサリを加えることで、ICパッケージや水晶振動体、レーザーダイオードのような密閉圧密された部品のテストを簡単に速く、正確に行うことができます。（MIL-STD843、Method1014）
特長一覧
- 15decade以上の広い計測範囲
- ポンプのダウタイムと反応時間を短縮
- 可働型オールメタル製格納によって妥協なしの機動性をプラス
- I-CALで全計測範囲でのリークに短時間で反応
- 何もしなくても自動の統合時間配列で速く確実にリークテスト結果
- 頑丈なラフポンプと複数吸気口付きターボ分子ポンプ付きの工夫された真空デザインで、高圧力での速いヘリウムポンプスピードを実現
回転するディスプレーとユーザインターフェースが簡単で易しいコントロールとユニットとの相互作用を実現します。
- 自己保護機能でUL1000をヘリウムと粒子汚染から保護
- 確かなクリーニングでテストに備える自動パージサイクル、ソフトウェアはEメールを通してアップデート可能
- 2つのフィラメントイオンソース（3年間の保証付き）が付いた丈夫な質量スペクトロメータシステムによって、メンテナンスコストを抑えながら長時間稼動することが可能となり、組込み式の内部校正用テストリークが正確なテスト結果を出す
- 組込み式ソフトウェアメニューの"Auto Leak Test" 機能で密閉部品をTC1000 Test Chamber自動テスト
用途
- 半導体プロセス装置でのメンテナンス作業－ポンプからのサポート付きでもなしでも可
- プロセスガスシステムのインスペクションとインストール
- 既存装置にインストール前の構成部品リークテスト
- 速いポンプスピード、精度、クリーンなテストコンディションを要する作業に
ASSOCIATED TECHNICAL INFORMATION
Brochures and Datasheets:
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Brochure - RC1000 Remote Control
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Brochure - TC1000 Test Chamber
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Catalogs:
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Catalog - INFICON Leak Detectors
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