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UL5000ヘリウムリークディテクタ
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リーク検出のスピードと精度を定義
INFICONのUL5000ヘリウムリークディテクターは最も重要で需要が大きいリーク検出作業に適するようデザインされています。INFICON特許のalgorithms I-CAL と、現場で証明されてきた真空デザインHydro-Sの特性を生かしたＵＬ5000は、テストにおける柔軟性、高感度、速くて正確な結果をもたらし、あらゆるリーク検出作業を素早く簡単にします。
The UL5000は全計測範囲ですばやい反応をもたらし、テスト状況と最終結果に到達するサイクル時間を大幅に短縮します。 特別にデザインされた真空設計はヘリウムポンプスピードを高く保ち、必要とされる時間に非常に迅速に反応します。
特長一覧
- HYDRO-S (*HYDRO*gen-*S*uppression) によってテスト状況へすばやく到達
- I-CAL (Intelligent - *C*alculation *A*lgorithm for *L*eak Rates)によって全計測範囲のリークにすばやく反応
- INFICONの磁場質量スペクトロメーターは精度とトラブルなしで再現性のある結果、メンテナンスフリー設計であることが現場で長年にわたって証明
- 特製の複数吸気口付きターボ分子ポンプが、高ヘリウム圧の全圧力に対して、高いヘリウムポンプスピードに適し、優れた感度と反応、すばやいクリーニングを実現
- ターボ分子ブースターポンプが、最大ボリューム、チャンバーを含めたあらゆるテスト対象に非常に速く反応
- 回転するディスプレー /インターフェースと、お好みでリモートハンドコントローラーをコントロールすることでフレキシブルな作業
- ヘリウムと特定の汚染からＵＬ500を守る自己保護する特長と、さらに必要なときにＵＬ5000を準備させるオートパージサイクル
- 権限のないユーザのアクセスや、テスト設定への目的外修正を防ぐため、ユニットとシステムソフトウェアはソフトウェアを通してアクセスをコントロール
- UL5000最適化のためEメールを通してソフトウェアのアップデート
- 新しい作業ステーションのデザイン-便利なテストのためのＥＳＤマットとツールボックスを含んだ最適な高さの作業台
- イオンソース3年保障
用途
- 構成部品、サブアセンブリ、半導体とフラットパネルディスプレー装置に使用される大型チャンバーのリークテスト
- 半導体、フラットパネル装置のリークテスト
- 航空部品、サブアセンブリ、システムのリークテスト
- 医療製品－ペースメーカー、カテーテル、Ｘ線チューブ、MRIシステムなどのリークテスト
- 貯蔵容器/貯蔵タンクのリークテスト
ASSOCIATED TECHNICAL INFORMATION
Brochures and Datasheets:
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Brochure - RC1000 Remote Control
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Brochure - UL5000 Helium Leak Detector
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Catalogs:
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Catalog - INFICON Leak Detectors
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