優秀さを再現可能に
機能豊かなIC6があり得る限り最高の計測精度を提供
IC6薄膜蒸着コントローラーは、機能ポジションプロセスから最大の収穫を得るためにあなたのためにすべてデザインされた、INFICONの薄膜コントローラーの実証済み機能とユニークな機能を組み合わせることで、類のない価値を提供します。IC6は、市場をリードする毎1/10秒に.00433A/sという解像度の、安定した高解像の速度と膜厚計測を提供するModeLock周波数計測システムを使っています。他のどの水晶振動子コントローラーもIC6ほどに優れた再現性をもたらす性能、品質、特長を持っていません。
特長一覧
- INFICONのModeLock技術は非常に低いレートでも、最も安定性があり、可能なかぎり最高の解像度と膜厚の計測をお約束します。
- 自動Zが調整によって、材料が蒸着するとZ比率が自動的に決定し、膜厚の精度を向上
- 6のソースからの同時蒸着
- カラーTFT LCDディスプレーがプロセスで何が起きているかを見やすく表示
- 100msサンプル以上で+/-0.0035 Hz
- スクリーンショット、処方保存、データログ用のUSBデータ記憶
- 強力なI/Oに、シンプルまたは複雑なシステムに統合（拡張可能な入力（x28）と出力（x24リレー、TTL出力x14））できるという柔軟性、および論理関数の使用（100論理命令文）
- 6D-A変換器はソースコントロール、速度、または膜厚監視のための、標準および6つの追加オプションを出力
- 200レイヤーのプロセスを最大50まで対応、レイヤーを最大10,000までプロセスの結合が可能
- 複数センサの平均化を8センサまで
- 4メートルのXIUのオプションが、大型システム用に長い真空内のセンサケーブルを使用できる機能を提供
- オプションでイーサーネットコミュニケーション
- RoHS対応
ASSOCIATED TECHNICAL INFORMATION
Brochures and Datasheets:
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Brochure - Crystal 12 Sensor for Quartz Crystal Deposition Controllers
English
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Brochure - IC6 Thin Film Deposition Controller for Optical Applications
English
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Catalogs:
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Catalog - Thin Film Deposition Controllers, Monitors and Accessories Catalog
English
| Chinese
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Operations and Maintenance Manuals:
Technical Information:
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Application Note - Auto-Z: A Path to Precise Control of Layer Thickness
English
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Mass Determination with Piezoelectric Quartz Crystal Resonators
English
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Reducing Process Variation Through Multiple Point Crystal Sensor Monitoring
English
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Technical Note - The Technology of the Intelligent Oscillator for Quartz Crystal Measurement and Advantages for Thin Film Processes
English
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 | | Learn more about the IC6 for Optical Applications |
|  | | Crystal 12 - Replaces crystals automatically without interrupting your process. |
|  | | Table of Density and Z-Ratio Values |
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