圧力スイッチVSA100A は真空システムでの安全なスイッチとして使用できます。例えば、6mbar以下の空気圧のパージガスが入った真空システムをベントする際に、ガス供給を自動で停止させます。
利点
- 信頼できるお得な真空スイッチ
- 長寿命
- 丈夫なデザイン
- 統合が簡単
- IP44保護
- プログラム可能なコントロールに接続ができる
用途
- ロードロックチャンバーのコントロール
- 真空システムの安全なシャットダウン
ASSOCIATED TECHNICAL INFORMATION
Brochures and Datasheets:
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Datasheet - VSA100A Vacuum Switch
English
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Operations and Maintenance Manuals:
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Gebrauchsanleitung / Operating Manual - VSA100A Vacuum Switch
English
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