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ペニングゲージ
 ペニングゲージPEG100は信頼できる高真空計測を提供します。頑丈なペニング冷陰極センサには、バーンアウトするフィラメントがありません。頑丈なペニング冷陰極センサには、バーンアウトするフィラメントがありません。対数アナログ出力信号に加え、フィールドバスオプションがProfibus DPやDeviceNet プロトコルを使った真空システムへの統合を簡単にします。
ユーザーの利点:
- 1 X 10 ^-9^から1 x 10 ^-2^mbarまでの広い計測範囲
- セラミックフィードスルーセンサ付きの全金属製冷陰極センサ（ペニング）
- 新たな電極形状は優れた点火特性を提供
- プラズマの点火後に減少された高電圧とアノードのチタン板は、アルゴンのスパッタリング作業中も、汚染のリスクを軽減
- アノードリングとチタンのカソードは簡単に洗浄または交換が可能
- ゲージ付近の磁界が最小
- 電源オンとプラズマ点火後のためのLEDインジケータ
- 対数のアナログ出力信号
- フィールドバスインターフェースで（Profibus、DP、DeviceNet）ネットワーク通信を使った真空システムへの簡単な統合
典型的な用途:
- 高真空圧監視
- 蒸発とスパッタリングのシステム
- 一般的な真空計測と微から高まで真空範囲のコントロール
ペニングゲージPEG100は十分に証明されているペニング原理をベースとした冷陰極センサです。AL 2 O3流体フィードスルーの全金属センサのデガスを行うために、トランスミッターおよびその電子機器と磁石の筺体は簡単に外せます。磁石はごくわずかな漂遊磁界のために閉磁場を提供します。そのため、システム内の敏感な部分の近くにPEGに設置することも可能です。アノードリングとカソードのチタン板は汚染が起きた場合、素早くメンテナンスを行えるように交換が簡単にできます。スパッタされたチタンは非磁性物質なので、センサ内でショートする回路の蓄積が制限され、汚染のリスクは大幅に減少します。新たに設計されたカソード板はセンサのバッフルとして機能します。
フィールドバス
フィールドバスはプロセスまたは作業においてネットワーク通信の柔軟性とコントロールを可能にします。正確なデジタル情報通信、単独なコントロール、接続されている各機器の定期的なメンテナンスと診断を可能にして、接続図を簡素化します。コントロールの手段:計測値の監視、ゲージの自動ゼロ点調整、作業者へ予定が入っているメンテナンス作業の通知、機器の故障が起きた場合に警告信号、など。
Profibus DP
中央自動化システム、例:PLC/PCまたはプロセスコントロールシステム、は高速なシリアル接続を通して分散されたI/O、モーター、バルブ、圧力トランスデューサー、などの機器と通信します。分散された機器とのデータ交換は主に周期的に行われます。Profibus DP通信プロファイルの基本機能はパラメーター設定、コントロール、監視、警告機能のための、自動制御可能な機器との非周期的通信サービスも含みます。
DeviceNet™
DeviceNetインターフェースはポーリング、ビットストローブと状態遷移/周期的コマンドをサポートします。他のDeviceNet機器と同様で、ユーザーは利用可能なセンサ機能をすべて監視とコントロールできます。
関連技術情報:
ASSOCIATED TECHNICAL INFORMATION
Operations and Maintenance Manuals:
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Gebrauchsanleitung - tina13d1, PEG050, Penning Gauge (tina13d1.pdf)
English
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Gebrauchsanleitung - tina14d1, PEG100, Penning Gauge (tina14d1.pdf)
English
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Operating Manual - tina13e1, PEG050, Penning Gauge (tina13e1.pdf)
English
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Operating Manual - tina14e1, PEG100, Penning Gauge (tina14e1.pdf)
English
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