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リサーチ水晶振動子マイクロバランス (RQCM) |
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リーク感知機 |
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残留ガス分析器 |
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水晶モニター振動子 |
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水晶振動センサ |
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真空バルブとガス注入システム |
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Angle and Inline Valves, DN 16 - 250 |
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Angle and Inline Valves, DN 5 |
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Ball Valves, DN 10-40 |
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Ball Valves, DN 10-40 |
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Butterfly Valves, DN 63 to 250 ISO |
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Diaphragm Valves, Manually Actuated |
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Gas Dosing Systems |
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ISO-KF Valves (DN 16, 25, 40), manual |
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ISO-KF Valves (DN 16, 25, 40), manual |
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ISO-KF Valves (DN 16, 25, 40), pneumatic and electropneumatic |
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ISO-KF Valves (DN 16, 25, 40), pneumatic and electropneumatic |
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薄膜析出コントローラ/モニター |
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電子ビーム銃クルーシブルインデクサー |
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アングル（VAP）とストレート（VIP）空気圧/電空式バルブ
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INFICON ISO-KFバルブ管VAP / VIP016...040-A/Xはゲージ遮断、バイパス、ラフまたはベントバルブとして機能し、すべての一般的な高真空/半導体プロセスに適しています。向上した産業デザインによって丈夫でコンパクト、高い信頼性のバルブを低い所有コストで提供できるようになりました。オールインワンのコンセプトでバルブのインストールが早くて簡単になり、パイロットバルブと電子ポジションインジケーターが便利なプラグアンドプレイとして使用できるように統合されました。実証されたオールインワンデザインと非常に長い寿命でバルブのメンテナンスを容易にします。この新しいラインは現INFICONのVAP / VIP016...040-A/X バルブラインと完全に互換性を持っています。
特長 / 長所
- オールインワンデザインで早く簡単な取り付けパイロットバルブと電子ポジションインジケーターが便利なプラグアンドプレイとして一つのコネクターに
- ダイレクト空気圧アクチュエータまたは統合パイロットバルブを介して
- 平常オープンと平常クローズバージョンあり
- 電子/ビジュアルポジションインジケーター 標準
- 1千万サイクル316Lステンレススチールベローズ
- 簡単なメンテナンス、 すばやいベローズとシール交換
- すばやい開閉時間
- 高い誘電率ですばやいポンプダウンまたはベント
- 高い差動圧耐性
- FPMシーリング標準、リクエストに応じてその他シーリング材もあり
- 高純度アルミまたはステンレススチール格納
INFICONは ISO-KF 手動式バルブの全ラインも提供しています。さらに詳しい情報はここをクリック
ASSOCIATED TECHNICAL INFORMATION
Brochures and Datasheets:
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Datasheet - Angle (VAP) and Inline (VIP) Valves, Pneumatically Actuated
English
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Datasheet - Angle (VAP) and Inline (VIP) Valves, Pneumatically Actuated
English
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Operations and Maintenance Manuals:
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Gebrauchsanleitung - VAP Eckventil und VIP Inline-Ventil
German
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Operating Manual - VAP Angle and VIP Inline Valves
English
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