INFICONは真空バルブ、継手、フィードスルーをあなたの真空作業に合うように全ラインで揃えています。カスタムの加熱バルブと継手は半導体製造のエッチング消耗ライン用に特別にデザインされています。INFICONのガス注入コントローラーはINFICONの真空計とコミュニケーションをとりながら、圧力をコントロールします。
INFICONの部品は1 X10-9 mbar-l-s以下まで100％リークテスト済みです。表面仕上げ、溶接そして材料の仕様は高い真空の要求条件に合う、またはそれを越えるものです。INFICONのバルブ、継手、フィードスルーはステンレススチール製とアルミ製があり、当社のフランジは国際水準ISO2861、ISO1609、そしてISO3669を満たすようデザインされています。
ISO-KFバルブ（DN 16、25、40）、空気式と電空式
ISO-KFバルブ（DN 16, 25, 40）、手動
アングル/ストレートバルブ、DN 16 - 250
アングル/ストレートバルブ、DN 5
ダイアフラムバルブ、手動式
ボールバルブ、DN 10-40
バタフライバルブ、DN 63 to 250 ISO
ガス注入バルブ
ガス注入システム
安全バルブ
ベントバルブ
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