오염 통제를 위한 우수한 감도
Transpector® 가스 분석 시스템은 반도체 제조 시 진공 공정 감시, 공정 진단 및 누출 검출을 위한 정확하고 신뢰할 수 있는 데이터를 제공하는 RGA 입니다. Transpector 2에서는 수소 감도가 증가되어 ppm 이하 수준의 오염물질을 볼 수 있으며 다이내믹 레인지가 확대되어 낮은 레벨 신호에 대한 스캐닝 속도가 4배 더 빨라져서 더 낮은 검출 부분 압력에서 더 깨끗한 데이터를 제공합니다.
특징 요약
- 패러데이 컵 또는 컴비네이션 전자 증배관/패러데이 컵이 있는 100-,200- 및 300-amu 시스템
- 수소 검출 개선
- 우수한 피크 진폭 및 위치 안정성
- 최초 Transpector에 비해 신호 대 잡읍비가 최대 10배 개선
- 낮은 레벨 신호에 대한 스캐닝 속도 개선
- 9 데케이드의 전자 다이내믹 레인지
- 단일 및 다중 챔버 시스템에 대한 소프트웨어 옵션
- 1 X 10 -4 Torr ~ 5 X 10 -15 Torr의 부분 압력 측정
ASSOCIATED TECHNICAL INFORMATION
Brochures and Datasheets:
Reference:
Technical Information:
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Calculating Partial Pressures
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Heating Jackets Can Improve RGA Performance
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Interpretation Guide - General RGA Spectrum
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New Digital Input/Output Board For Transpector Gas Analysis System Using TWare 32
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Partial Pressures vs. Total Pressure for an Open Ion Source RGA
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Residual Gas Analyzers for Contamination Checking
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Residual Gas Analyzers for Leak Detection
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Technical Note - Calculating Sensitivity for RGA Partial Pressures
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Technical Note - Choosing the Appropriate RGA
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The Advantages of an RGA with Analog Outputs
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The Practical Use of Residual Gas Analysis in a Semiconductor Thermal Processing Module
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Transpector 2 Improvements Lead to Better Process Monitoring
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