탁월한 결과의 반복
기능이 풍부한 IC6은 가능한 최고의 측정 정밀도를 제공합니다
IC6 박막 증착 컨트롤러는 포지션 공정을 최대한 활용할 수 있는 고유한 기능들과 INFICON 박막 컨트롤러의 성능을 결합하여 탁월한 가치를 제공합니다. IC6은 당사의 ModeLock 주파수 측정 시스템을 사용하여 업계 최고 수준인 1/10초마다 .00433 A/s의 속도 해상도로 안정적인 고해상도 속도 및 두께 측정을 제공합니다. 다른 어떤 석영 크리스탈 컨트롤러도 IC6의 성능, 품질 및 기능을 제공하지 못하므로 탁월한 결과를 반복해서 얻을 수 있습니다.
특징 요약
- INFICON ModeLock 기술은 매우 낮은 속도에서도 가장 안정적이고 가장 높은 해상도의 속도 및 두께 측정이 가능합니다.
- Auto Z 기능은 재료가 증착됨에 따라 Z 비율을 자동으로 결정함으로써 두께 정확도를 향상시킵니다
- 최대 6개의 소스를 동시에 공증착
- 컬러 TFT LCD 디스플레이로 공정의 진행 상황을 쉽게 볼 수 있습니다
- 100ms 샘플에 대해 +/-0.0035 Hz
- 스크린 샷, 처방 저장 및 데이터 로깅을 위한 USB 데이터 저장 기능
간단하거나 복잡한 시스템에 통합시킬 수 있는 강력한 입출력 기능(확장 가능한 입력(28) 및 출력(24 릴레이, 14 TTL 출력), 그리고 로직 함수의 사용(100개의 로직문)
- 6개의 DAC 출력을 표준으로 제공하며 소스 제어, 속도 또는 두께 감시용으로 위해 6개 추가 선택 가능
- 최대 200개 층의 각 층마다 50개 공정을 처리할 수 있으며 공정을 서로 연결하여 최대 10,000개의 층을 처리할 수 있습니다
- 최대 8개의 센서에 대해 다중 센서 평균화 가능
- 4미터 XIU 옵션으로 대형 시스템에 대해 긴 진공 센서 케이블을 사용할 수 있습니다
- 이더넷 선택 가능
- RoHS 준수
ASSOCIATED TECHNICAL INFORMATION
Brochures and Datasheets:
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Brochure - Crystal 12 Sensor for Quartz Crystal Deposition Controllers
English
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Brochure - IC6 Thin Film Deposition Controller for Optical Applications
English
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Catalogs:
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Catalog - Thin Film Deposition Controllers, Monitors and Accessories Catalog
English
| Chinese
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Operations and Maintenance Manuals:
Technical Information:
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Application Note - Auto-Z: A Path to Precise Control of Layer Thickness
English
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Mass Determination with Piezoelectric Quartz Crystal Resonators
English
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Reducing Process Variation Through Multiple Point Crystal Sensor Monitoring
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Technical Note - The Technology of the Intelligent Oscillator for Quartz Crystal Measurement and Advantages for Thin Film Processes
English
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 | | Learn more about the IC6 for Optical Applications |
|  | | Crystal 12 - Replaces crystals automatically without interrupting your process. |
|  | | Table of Density and Z-Ratio Values |
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