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!!残余气体分析仪 (RGA) !!
INFICON 残余气体分析仪 (RGA) 作为诊断工具，帮助过程工程师连续监控制造过程所产生的污染气体，并检验目标过程气体的含量。

Transpector® 系列残余气体分析仪 (RGA)
Transpector® 气体分析仪为真空过程监控、过程诊断和泄漏检测提供精确而可靠的数据。

Transpector 2 气体分析系统
高灵敏性改善污染控制；这款 RGA 在半导体制造业中，为真空过程监控、过程诊断和泄漏检测提供精确而可靠的数据。

Transpector XPR3 气体分析系统
无需复杂压力转换的 PVD 压力过程监控；以空前的灵敏度、精确性和灵活性监控物理气相沉积 (PVD) 过程。

Transpector CPM 紧凑型过程监控器
经济型综合气体分析，非常适用于现场复杂过程监控的功能全、紧凑和经济的气体分析器。

Transpector 软件
用于 Transpector 气体分析系统的过程特性化软件

Transpector CPM 紧凑型过程监控器的手推车
移动排除故障的自带车

 

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Transpector XPR3 气体分析系统 - 无需复杂压力转换的 PVD 过程监控




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Transpector CPM 紧凑型过程监控器
经济型气体分析仪，非常适合//现场//监控复杂过程。

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