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Transpector CPM 紧凑型过程监控器
经济型综合气体分析

INFICON Transpector CPM 通过以下功能提供现场预警和降低成本：
  • 测量气相反应
  • 验证真空完整性
  • 鉴定痕迹量级污染物
  • 测量过程和本底成分
  • 检测气体纯度

INFICON CPM 紧凑型过程监控器是一款功能全面、结构紧凑且经济实惠的气体分析仪，适用于现场监控复杂的过程。 这种干泵系统使用 INFICON Transpector 2 气体分析系统的成熟技术，帮助您达到新的性能水平。

Transpector CPM 功能概览
  • 基于四极的气体分析系统可监控复杂的过程。
  • 支持 24/7 全天候监控，可最大限度地提高产量和吞吐量，从而大幅降低成本。
  • 小巧灵活、经济实惠，适合安装到任何高压真空室。
  • HexBlock 采样系统提高性能。
  • 内置 CDG，支持过程压力监控和真空联锁。
  • 可选校准基准（用于调节）和气体基准。
  • 长寿命封闭式离子源可检测亚 ppm 量级的污染，同时耐最强的腐蚀性和活性气体。
  • 轻便，易携带。

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相关技术资料

产品样本和数据表:

   Application Note - Transpector CPM - Integrated Process Monitor for 300mm High Pressure Degas
English

   Brochure - Transpector CPM Compact Process Monitor
English

   Technical Note - Choosing the Appropriate RGA
English

   Technical Note - Etch Process Monitoring with the Transpector Residual Gas Analyzer
English

   Technical Note - Gas Purge and CPM Sensor Lifetime
English

   Technical Note - Heating Jackets Can Improve RGA Performance
English

   Technical Note - The Optimization of Electron Energy for RGAs
English

   Technical Note - The Use of Quadrupole Mass Spectrometry to Detect Sub-PPM Level Contaminants in Gas-Phase Samples and Processes
English

   Technical Note - Transpector CPM Calibration Reference
English

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