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Transpector 2 Gas Analysis System
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Transpector 2 气体分析系统
高灵敏性改善污染控制
Transpector® 气体分析系统是一种 RGA,可在半导体制造业中,为真空过程监控、过程诊断和泄漏检测提供精确而可靠的数据。 与之相比,Transpector 2 提高了氢气灵敏度,使下限达 ppm 量级的污染均可一览无余,低电平信号下的扫描速度快达四倍,动态扫描范围更为宽泛,可在更低的可检分压强下提供更纯净的数据。
功能概览
100-amu、200-amu 和 300-amu 系统配备有法拉第杯或组合式电子倍增器/法拉第杯
提高氢气检测水平
优异的峰值振幅和位置稳定性
与原始 Transpector 相比,信噪比高达 10 倍
*低电平信号下扫描速度更快
九个数量级的电子动态量程
针对单腔室系统和多腔室系统的软件选项
从 1 X 10
-4
Torr 到 5 X 10
-15
Torr 范围内的分压力测量
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相关技术资料
Reference:
产品样本和数据表:
Transpector 2 Brochure
English
技术资料:
Benefits of RGA Degassing
English
Calculating Partial Pressures
English
Heating Jackets Can Improve RGA Performance
English
Interpretation Guide - General RGA Spectrum
English
New Digital Input/Output Board For Transpector Gas Analysis System Using TWare 32
English
Partial Pressures vs. Total Pressure for an Open Ion Source RGA
English
Residual Gas Analyzers for Contamination Checking
English
Residual Gas Analyzers for Leak Detection
English
Technical Note - Calculating Sensitivity for RGA Partial Pressures
English
Technical Note - Choosing the Appropriate RGA
English
The Advantages of an RGA with Analog Outputs
English
The Practical Use of Residual Gas Analysis in a Semiconductor Thermal Processing Module
English
Transpector 2 Improvements Lead to Better Process Monitoring
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