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UL1000 Fab 氦气检漏仪
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在检测低至 10-12 atm/css 泄漏的稳定性和敏感度方面具有新的表现
INFICON UL1000 Fab 移动式氦气检漏仪专门为满足半导体应用的要求而设计。
UL1000 Fab 将使用简易性、泄漏检测效率和可移动性完美融合进工厂环境系统中，可在所有测量范围内提供极其快速的漏率响应。 UL1000 Fab 通过一个具有高氦气泵速和高进口压力的优化真空架构，提供低至 < 5x10-12 atm cc/s 以下的前所未有的漏率稳定性。 专利软件 I-CAL（智能化漏率计算程序）让您全然忘记低漏率范围内长响应时间的痛苦经历，因为 UL1000 Fab 可以对所有漏率范围提供快速响应。
UL1000 Fab 氦气检漏仪新增了 TC1000 试验室附件，可以轻松、快速且准确地测试密封零件（如 IC 封装、石英晶体和激光二级管）的泄漏（符合 MIL-STD 843、Method 1014 标准）。
功能概览
- 多达 15 个数量级的宽广测量范围
- 抽气时间和响应时间短
- 移动式全金属壳体，增强了便利性，而可操作性丝毫不受影响
- I-CAL 确保对所有测试范围中的泄漏做出最快速的响应
- 归零功能可自动调整积分时间，从而快速提供可靠的测试结果
- 智能真空泵设计，带有刚性涡旋泵和多进口涡轮分子泵，可提供高氦气泵速和高压缩率
- 旋转式显示器和用户界面允许用户简单轻松地控制和干预装置
- 自我保护功能可保护 UL1000 Fab 免受氦气和粒子污染
- 自动冲净周期确保清洁，通过电子邮件随时更新检测软件
- 坚固耐用的质谱仪系统配有两个离子源丝级（三年保修），可确保长运行时间和低维护成本，内置参考漏孔和外部校准确保测试结果准确可靠
- 内置软件菜单“Auto Leak Test”（自动泄漏测试）功能，可通过 TC1000 试验室自动测试密封元件
应用
- 对半导体过程工具的维护工作，可以借助或不借助用户自备泵的支持
- 检验和安装过程气体系统
- 在元件安装到现有工具之前对其进行泄漏测试
- 适用于要求高泵速和高灵敏度以及清洁测试条件的应用
相关技术资料
产品样本和数据表:
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Brochure - RC1000 Remote Control
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Brochure - TC1000 Test Chamber
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产品目录:
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Catalog - INFICON Leak Detectors
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