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针对半导体过程的定制设计
建议 CVD、蚀刻和其他存在排气管污染问题的过程采用 INFICON 受热排气管。
排气管壁上的冷凝过程副产品会降低传导性能，增加粒子污染的可能性。
将排气管加热至过程温度消除冷凝，从而提高关键过程控制参数的连续运行可重复性。 其他益处包括降低接触危险化学物质的风险，延长预防性维护计划时间。
功能概览
- 模块化装配
- 定制配置
- 卓越的热特性
- 恒温控制管壁温度
- 完整热保护
- LTA 控制电路监控单个加热器的性能
- 低温外表面
- 独特的绑定过程消除低温点，提高传热性能，加快预热，延长加热器使用寿命
- 降低能耗
- 带有 UL、SEMI S2 和 CE 标记
相关技术资料
产品样本和数据表:
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