高压热电离 Pirani 真空计 HPG400

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高压电离 Pirani 真空计 HPG400

INFICON 高压热电离 Pirani真空计 HPG400 将高压热电离技术与 Pirani 传感器整合在一个体积小、价格低的规管中，可测量 2 X 10 ^-6 至大气气压（1.5 X 10 ^-6 至大气气压）范围内的压力。 HPG400 提供高可重复性和再现性压力测量，实现精确控制镀溅过程压力。

优势

HPG400 可节省成本和工具空间，降低真空系统的安装与设置的复杂性
高压热电离真空计可以准确可靠地测量 1 X 10 ^-5 至 1 mbar 范围内的压力，进而改善过程控制
用户可选的热电离发射在 5 X 10 ^-2 至 1 mbar 之间启动
Pirani 联锁保护丝极，防止过早烧毁
备有可选的图形显示器和现场总线接口
高真空Pirani 自动调节，减少操作员的干预

应用

半导体制造、电子工业和媒体工业中的溅镀应用
工业镀膜
低真空至高真空范围内的一般真空测量和控制

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