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INFICON 潘宁真空计 PEG100 可以提供可靠的高真空测量。坚固耐用的潘宁冷阴极传感器不会出现丝极烧毁的现象。 由于采用钛阴极板且等离子点火后高电压将会降低，潘宁真空计还可在溅射应用环境下运行。 现场总线选件以及对数模拟输出信号允许使用 Profibus DP 或 DeviceNet 协议，将真空计轻松集成到真空系统中。
优势
- 测量范围可达 5 X 10 -9 - 1 X 10 -2 mbar (7.5 X 10 -10 - 7.5 X 10 -10 Torr)
*全金属冷阴极传感器（潘宁）带有陶瓷馈入件
- 新电极几何形状提供卓越的点火属性
- 等离子点火后高压降低以及采用钛阴极板，降低了污染风险，即使是使用氩气进行溅射操作期间
- 阳极环和钛阴极可以轻松进行清洁或更换
- 最小化真空计附近的磁场强度
- LED 指示器用于显示电源及等离子点火状态
- 对数模拟输出信号
- 现场总线接口（Profibus DB、DeviceNet）允许使用网络通信将真空计轻松集成到真空系统中
应用
- 高真空压力监控
- 蒸发镀溅系统
- 高真空范围内的一般真空测量和控制
相关技术资料
产品样本和数据表:
操作及维修手册:
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EDS for PEG100 with Float EDS
English
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Operating Manual - PEG100-D
English
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