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潘宁真空计
潘宁真空计 PEG100 可以提供可靠的高真空测量。 坚固耐用的潘宁冷阴极传感器不会出现丝极烧毁的现象。 由于采用钛阴极板且等离子点火后高电压将会降低,潘宁真空计还可在溅射应用环境下运行。 现场总线选件以及对数模拟输出信号允许使用 Profibus DP 或 DeviceNet 协议,将真空计轻松集成到真空系统中。
用户益处:
- 从1 x 10 -9 至 1 x 10 -2 mbar 的宽泛测量范围
*全金属冷阴极传感器(潘宁)带有陶瓷馈入件
- 新电极几何形状提供卓越的点火属性
- 等离子点火后高压降低以及采用钛阴极板,降低了污染风险,即使是使用氩气进行溅射操作期间
- 阳极环和钛阴极可以轻松进行清洁或更换
- 最小化真空计附近的磁场强度
- LED 指示器用于显示电源及等离子点火状态
- 对数模拟输出信号
- 现场总线接口(Profibus DP、DeviceNet)允许使用网络通信将真空计轻松集成到真空系统中
典型应用:
- 高真空压力监控
- 蒸发镀溅系统
- 高真空范围内的一般真空测量和控制
潘宁真空计 PEG100 是基于潘宁行之有效的原则而研发的一款冷阴极传感器。 为便于带有 Al 2 O3 电流馈送的全金属传感器进行除气,可以轻松拆卸发射器外壳及其电子元件和磁铁。 磁铁提供封闭式磁场,杂散磁场十分微弱,可忽略不计。 因此,PEG 还可以安装在系统中敏感零件附近。 阳极环和钛阴极板如果受到污染,可以轻松予以更换,进行快速维护。 被溅射的钛没有磁性,限制了传感器发生短路现象,大大降低了污染风险。 最新设计的阴极板用作传感器隔板。
现场总线
现场总线赋予过程或应用极大的灵活性,并允许控制网络通信。 它可以传输准确的数字信息,为每个连接仪器配备独立的控制、维护和诊断例行程序,简化连接图。 控制措施包括: 监控测量值、真空计自动归零、更换定期维护工作操作员、仪器故障警报信号,等等。
Profibus DP
中央自动系统(例如 PLC/PC 或过程控制系统)通过快速串行连接与 I/O、电机、阀门和压力传感器等分散的仪器进行通信。 与分散的仪器交流数据通常循环进行。 此外,Profibus DP 通信配置文件的基本功能还包括用于参数设置、控制、监控和智能仪器警报功能的循环通信服务。
DeviceNet
DeviceNet 接口支持轮询、位选通和状态改变/循环命令。 与其他 DeviceNet 仪器一样,用户可以监控和控制所有可用的传感器功能。
相关技术信息:
相关技术资料
操作及维修手册:
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Gebrauchsanleitung - tina13d1, PEG050, Penning Gauge (tina13d1.pdf)
English
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Gebrauchsanleitung - tina14d1, PEG100, Penning Gauge (tina14d1.pdf)
English
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Operating Manual - tina13e1, PEG050, Penning Gauge (tina13e1.pdf)
English
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Operating Manual - tina14e1, PEG100, Penning Gauge (tina14e1.pdf)
English
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